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国内首台等离子去胶机问世 丰富12寸封测设备产品线

浏览次数:956     发布于:2018-2-2

      近日,七星电子半导体装备家族再添新丁,公司全资子公司北京北方微电子发布了新产品IDE300设备,应用于先进封装倒装的等离子去胶工艺。作为国内首台自主研发的等离子去胶设备,首批产品已成功交付客户。
  
  此次北方微电子推出的IDE300设备,是在原有12吋刻蚀设备的技术基础上,通过逐步扩展工艺应用而开发的新产品。该机台可兼容8吋和12吋晶圆,腔室数量可以灵活配置,不但能满足用户对产线高效、低损、高均匀性的工艺要求,也最大限度的满足了其灵活的产品及产能配置要求。
  
  作为先进封装Bumping工艺的必备设备,等离子去胶设备丰富了公司在12吋先进集成电路制造设备领域的产品线。
  
  目前,北方微电子有刻蚀机、PVD和CVD三大类产品,可应用于集成电路制造、先进封装、半导体照明和微机电系统功率器件四大领域。该公司为下游集成电路制造厂商提供集成电路制造装备,包括氧化设备、清洗设备、刻蚀机、PVD等,主要客户为中芯国际、武汉新芯,上海华力微电子等。其中,对武汉新芯和中芯国际已实现了小批量供货,部分产品被客户认证为Baseline机台,伴随着包括上述两家FAB厂在内的下游客户的扩产计划,以及公司设备产品逐步替代进口承接订单的进程,公司集成电路制造设备产品的出货量将增加。
  
  七星电子今年第三季度财报显示,2016年第三季度营业收入环比上季度增长69.69%;归属于上市公司股东的净利润6277万元,同比增长144.82%,半导体及元件行业平均净利润增长率32.43%,公司第三季度净利润环比上季度增长109.21%。今年1-9月实现营业收入10.38亿元,同比增长42.13%,半导体及元件行业平均营业收入增长率为38.65%。